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RWS 單臂晶圓機器人

特色

直驅(qū)電機傳動設(shè)計，重復(fù)精度達±0.1mm。

重復(fù)精度
±0.1
Z軸行程
Max.500 mm
額定負載
2-3 kg
應(yīng)用
半導(dǎo)體LED面板IC自動光學檢測自動化
RWS 單臂晶圓機器人
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HIWIN技術(shù)支持