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RWD 雙臂晶圓機器人
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RWD 雙臂晶圓機器人
RWD 雙臂晶圓機器人
特色
直驅(qū)電機傳動設(shè)計，重復精度達±0.1mm。
重復精度
±0.1
Z軸行程
Max.
500
額定負載
2-3
kg
應(yīng)用
半導體
LED
面板
IC
自動光學檢測
自動化
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