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特色

體積業(yè)界最小，支持?jǐn)?shù)種材質(zhì)與輪廓偵測(cè)功能，最短于 4.9 秒內(nèi)完成晶圓尋邊、晶圓中心與角度等補(bǔ)正動(dòng)作。